設備特點：

石英舟 調角機構可根據石英舟需要調節傾角。一般為3度 四節皮帶獨立運動，互補干涉， 在靠近石英舟的時候可以慢速運行，不至于撞壞硅片而且不影響整機的工作效率。 機器自帶入藍導引裝置和校正機構， 可以裝入藍前可能存在的跑偏等現象自動校正 機器配在伸縮皮帶裝置， 使硅片能夠很順暢的進入石英舟 機器自帶缸藍托架，可根據需要折疊起來， 節省空間 可根據工藝需要完成自動翻片， 自動疊雙片， 背靠背疊加， 自動裝雙片的功能。